Кварцевая стеклянная маска-пластина Кварцевая маска Высокочистое синтетическое кварцевое стекло в качестве подложки

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JGS1玻璃掩膜板石英材料高温半导体石英玻璃材料熔石英材料电话： 15112732962

石英玻璃掩膜板（Quartz Mask）是半导体制造中光刻工艺的核心工具，其以高纯度合成石英玻璃为基板，通过镀铬、光刻、蚀刻等工艺形成微米级电路图案，承担着将设计图形精确转移到晶圆上的关键任务。作为半导体产业链中游的核心耗材，其技术特性直接影响芯片制造的精度与良率。

材料特性
- 高光学透过率：在深紫外（DUV）及极紫外（EUV）波段（如193nm、13.5nm）透过率超过90%，满足先进制程需求。
- 极低热膨胀系数：热膨胀系数（CTE）低于0.5 ppm/℃，确保光刻过程中图形稳定性，避免因热变形导致的套刻偏差。
- 高平整度与耐磨性：表面粗糙度低于0.1nm，耐磨性优于苏打玻璃，使用寿命更长，适用于高强度光刻工艺。
工艺兼容性
- 支持光学邻近校正（OPC）、相移掩膜（PSM）等分辨率增强技术，可实现亚微米级线宽控制（如3nm制程）。
- 兼容电子束光刻、激光直写等高精度图形转移技术，满足复杂多层结构掩膜需求。
化学稳定性
- 高纯度（杂质含量<1ppm）与惰性化学特性，避免光刻胶显影、蚀刻过程中污染或反应，保障图形精度。

半导体制造
- 逻辑芯片：CPU、GPU等高性能芯片，需高精度掩膜实现复杂电路图形。
- 存储芯片：DRAM、NAND Flash等，需大尺寸掩膜板（如6英寸）支持批量生产。
- 功率器件：IGBT、MOSFET等，需耐高温、高稳定性掩膜材料。
显示面板与精密光学
- AMOLED/TFT-LCD：用于高分辨率显示面板制造，需大尺寸（如G11代线）掩膜板。
- MEMS传感器：需微米级图形精度，石英掩膜板可满足高灵敏度要求